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    行業(yè)資訊

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    氮氣烘箱 半導體晶圓芯片堅膜烘箱

    發(fā)布日期:2021-01-26 12:35:42 作者:admin 點擊:615

    凈化烘箱百級千級無塵凈化烘箱 半導體封裝烘箱

    適用于新材料高溫無氧真空狀態(tài)下工作.高溫退火.高溫干燥處理,汽車行業(yè) 半導體光電元器件 .光電半導體制程

    無塵凈化烘箱是指使用耐高溫高效過濾器往復循環(huán)的過濾空氣中的顆粒物,逐步凈化烘箱工作室內的顆粒物數量,來滿足工藝的需求,確保產品的品質。工藝的需求不同,對環(huán)境顆粒物數量的要求也不相同,按等級可以分為千級和百級。多使用在半導體微電子封裝,新材料的測試及顯示基板等工藝上。采用新進的鈑金焊接加工技術,結合工業(yè)級智能精密控溫技術,采用環(huán)保節(jié)能設計,進口耐高溫過濾器,設備密封性好、機械強度高、高潔凈度、易操控、高穩(wěn)定性、安全性,符合標準化整體式結構箱體;具有操作簡便、控制系統(tǒng)自動化程度高、系統(tǒng)運行穩(wěn)定、無故障運行時間長等優(yōu)點。


    采用耐高溫高效過濾器,過濾等級(99.95% -99.99% @0.3um)。配置進口耐高溫超細纖維芯材,連續(xù)耐溫300℃,不銹鋼外框,鋁箔隔層,進口高溫陶瓷膠密封。門邊框配置玻璃纖維耐高溫密封條。當設備開啟,熱風循環(huán)系統(tǒng)啟動,熱風循環(huán)通過高效過濾器H.E.P.A實現箱內自凈化。絕熱保溫材料使用100mm厚120K高密度硅酸鋁纖維保溫材料。使用進口溫度控制器,控溫精度0.3級,溫度分辨率±0.1℃,PID智能演算,自動恒溫,超溫抑制,N2L過量報警,傳感器斷線警報,斷電記憶,控溫精準,操控簡便,可選程序控溫功能或液晶屏幕顯示。


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