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    上海幕斯實驗設(shè)備有限公司

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    非標定制類

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    快速升降溫 鼓風真空烤箱—半導體行業(yè)

    詳細介紹

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    產(chǎn)品用途:

    新款鼓風真空循環(huán)烤箱,升溫降溫可控,實時監(jiān)測控制氧含量濃度PPM級,真空度負壓微風循環(huán)可調(diào)風機轉(zhuǎn)速,自主研發(fā)全套PLC控制系統(tǒng)

    技術(shù)參數(shù):

    內(nèi)膽尺寸:470*450*450 (寬*深*高)  

    溫度范圍:RT+10~200℃

    溫度波動度:0.2℃

    升溫速率:室溫~150℃/30min

    降溫速率:150C~60℃/30min

    真空度:極限 100Kpa~0.1KPa 絕壓型

    抽氣速率:0.2KPa/5min

    真空泄漏率:24h/0.7kpa

    真空度釋放:5~15min 手動可調(diào),破真空可切換氮氣或壓縮空氣

    氧濃度測試范圍:1ppm到25% (進口耐壓耐高溫氧化鋯傳感器)

    電壓:380V/50HZ

    功率:5.5KW

    氮氣流量:10~100L/min

    隔板:3 塊(每層隔板最大承重 20KG)

     備注:我司可根據(jù)您的實際使用要求定制加工適用的設(shè)備,具體要求請咨詢我司技術(shù)銷售人員。

    產(chǎn)品特點:

      *采用PLC 觸摸屏,內(nèi)加熱快速升溫,及冷卻管道快速降溫系統(tǒng),數(shù)字壓力傳感器,真空系統(tǒng)采用德國萊寶油泵,

       氧含量濃度實時檢測,設(shè)計獨立正壓實時監(jiān)控防止熱膨脹和進入氮氣過量膨脹保護系統(tǒng),連接設(shè)計的電磁閥釋放氣體,

        從而有效的保護使用安全性。

      *操作控制例如:觸摸屏控制溫度接觸器運行,抽氣運行,放氣自動,溫度與真空度分段循環(huán)設(shè)置,先真空度達到與氧氣濃度

       到達后保持再氮氣破真空后溫度升溫再保持、加熱運行啟動 風機運行使箱內(nèi)溫度更均勻。 

      *設(shè)備結(jié)構(gòu):一體式設(shè)計,腔體在上部,腔體內(nèi)有循環(huán)風機加熱管,冷卻管道風道板,儀表在中部,底部真空

      工作室材料:內(nèi)膽不銹鋼拉絲板

      *抽氣結(jié)構(gòu):無縫連接316不銹鋼波紋管,不銹鋼壓差閥,氮氣減壓閥與流量計,抽氣過濾,真空泵排氣油霧過濾器

      *保護系統(tǒng):數(shù)字獨立限溫保護,接地保護,漏電保護,真空泵過熱保護,風機循環(huán)電機過載保護。

     詳細參數(shù)請咨詢我司技術(shù)銷售人員。


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